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上海纳动纳米位移技术有限公司

压电纳米定位控制系统

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首页 > 供应产品 > X、Y、Z轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司
X、Y、Z轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司
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产品: 浏览次数:14X、Y、Z轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司 
品牌: 上海纳动纳米位移技术有限公司
分辨率: 压电扫描台
谐振频率(0g): 精密纳米定位
运动方向推力/拉力: 压电平台
单价: 1000.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-05-29 12:13
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详细信息
产品描述
PK3L80-200U拥有三种不同行程运动轴产品,均采用柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动,适用于高运动平面度和直线度的纳米定位及扫描领域。
PK3L80-200U系列非常适合从光学研究到OEM系统及科研和工业中的样本操作和定位,也适用于透射光应用。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响,PK3L80-200U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。
本产品具有亚纳米性能。压电纳米台均可提供闭环反馈(-S)或开环(无反馈)。独特的位置传感器具有更高的线性度及重复定位精度。
压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
产品特性
—XYZ最大位移:200x200x200μm(闭环)
—中孔尺寸:?35mm
—最大承载能力:0.6Kg
—超紧凑型设计
—平行运动导向结构
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵


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