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上海纳动纳米位移技术有限公司

压电纳米定位控制系统

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首页 > 供应产品 > X轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司
X轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司
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产品: 浏览次数:15X轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司 
品牌: 上海纳动纳米位移技术有限公司
分辨率: 压电扫描台
谐振频率(0g): 精密纳米定位
运动方向刚度: 压电平台
单价: 1000.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-05-29 12:14
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详细信息
产品描述
PK1H100-030U系列X向压电扫描台是采用压电陶瓷驱动的一维并联压电纳米定位扫描台,压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。
压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电扫描台具有运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性。
压电扫描台内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。具有更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中间通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。
产品特性
—X位移:30μm(闭环)
—中孔尺寸:50mmx50mm
—并联直驱结构设计
—超快响应时间、超高动态应用
选配功能
—可定制转接装置、可定制中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选配XY轴运动
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微纳米操纵


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